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GC™系列高压高纯过滤器

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高纯气体过滤器小图.jpg

3A-GC™-TK 超高纯气体过滤器

      3A-GC™-TK 超高纯气体过滤器系列产品超高精度可达0.0025um,是工业过滤净化领域中精度超高的产品,本系列产品都是在十万级无尘车间内精密制造而成,具有高精度、耐高温高压的特性,主要应用于食品、电子、科研、化工等领域。

高纯气体过滤器构造图.jpg


产品性能参数    

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产品特点

■应用范围广,流量范围从15到300SL/min。

■与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性。

■3纳米颗粒过滤能力保持高流量效率,超小压降。

■5Ra电抛光表面可防止内部污染。

■在去离子水清洗后用热氮气烘烤,以满足半导体工艺标准。

■100万级无尘无菌车间制造,清洁和包装环境。

■测试100%氦泄漏。


如有特殊工况,亚特兰接受OEM定制,免费热线电话:400-003-1979